ΠΠ° ΡΡ
ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π΅Π΄Π΅Π»Π΅ Π² ΠΠΈΡΠ°Π΅ ΠΏΡΠΎΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ° ΡΠΈΠΏΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ Π²ΡΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΡ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅Π» Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΡΠ°Π½ΠΊΡΠΈΠΉ Π‘Π¨Π.
ΠΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΠ²ΠΈΠ», ΡΡΠΎ Π²Π»Π°ΡΡΠΈ Π‘Π¨Π ΡΡΠ°Π²ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡ ΠΎΡΡΡΠ°Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΠ Π² ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ. ΠΠ΅Π½Π΅ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ° Π΄ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² AMEC ΠΠΆΠ΅ΡΠ°Π»ΡΠ΄ ΠΠ½Ρ Π§ΠΆΠΈΡΠΎ Π·Π°ΡΠ²ΠΈΠ»:
ΠΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ²ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘Π¨Π, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΎ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π·Π°ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π½Π° 28-Π½ΠΌ, ΠΏΠΎ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ΅, Π½Π° ΠΏΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΡΡΡΠ°Π²Π°Ρ ΠΎΡ ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ° Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΡ 3-Π½ΠΌ Π΄ΠΎ 14-Π½ΠΌ, β ΡΠΊΠ°Π·Π°Π» ΠΠ½Ρ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² Π£ΡΠΈ. Β«ΠΡ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΡΡ ΡΡΠΎΒ», β Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΠ» ΠΎΠ½.
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΡ Π½Π°Π·Π²Π°Π» ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π·Π° ΡΠΊΡΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π‘Π¨Π, Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° Π²ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΡΠΈΠΊΠΈ Π² ΠΠΈΡΠ°Π΅, ΡΠ°ΠΌΡΠΌ Β«ΡΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠΌΒ» Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠΎΠΌ Ρ ΡΠ΅Ρ
ΠΏΠΎΡ, ΠΊΠ°ΠΊ Π‘Π¨Π Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΈ Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°Π½ΠΊΡΠΈΠΈ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΠΈΡ
Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΉ Π² 2019 Π³ΠΎΠ΄Ρ. ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΡΠΊΠ°Π·, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π½Π°ΡΠ΅Π»Π΅Π½ Π½Π° ΠΈΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΈ Π‘Π¨Π Π² ΠΊΠΈΡΠ°ΠΉΡΠΊΡΡ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΠ° ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ
Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ β ΠΊΠ°ΠΊ Β«16-ΠΉ ΡΠ°Π³Β» ΠΠ°ΡΠΈΠ½Π³ΡΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ² ΡΡΡΠ°Π½Ρ Ρ ΡΠ΅Ρ
ΠΏΠΎΡ.
ΠΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π°, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΠΎΠΊΡΡΠ±ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΠ΄Π°, Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠΈΡΠ°Ρ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Ρ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ 14 Π½ΠΌ, ΡΠΈΠΏΠΎΠ² DRAM Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ 18 Π½ΠΌ ΠΈ ΠΏΠ°ΠΌΡΡΠΈ 3D NAND Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ 128 ΡΠ»ΠΎΠ΅Π². Π‘Π¨Π ΡΠΎΡΠ»Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΠΈΡΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠΈΠΏΠΎΠ².
ΠΠ½Ρ, ΠΏΡΠΎΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π²ΡΠΈΠΉ 20 Π»Π΅Ρ Π² ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π² Π‘Π¨Π, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π²ΡΠΈΠΉ Π² Applied Materials, ΡΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, Π·Π°ΠΊΡΠΏΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ Π² ΠΠΈΡΠ°Π΅, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 15% ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΌΠ°. ΠΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌ, ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ 85% ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π‘Π¨Π, ΠΠΈΠ΄Π΅ΡΠ»Π°Π½Π΄ΠΎΠ² ΠΈ Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΎΠ½ ΡΠ±Π΅ΠΆΠ΄ΡΠ½, ΡΡΠΎ Π² ΠΈΡΠΎΠ³Π΅ ΠΠ°ΠΏΠ°Π΄Ρ Π½Π΅ ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΡ ΠΠΈΡΠ°Ρ Π² ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π·Π° ΡΡΡΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠΊ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ