> ## Content Index
> Fetch the complete content index at: https://admin.kod.ru/llms.txt
> Use this file to discover other available public pages before exploring further.

# В России создадут аналоги западных установок для производства чипов почти за 2 млрд рублей
- URL: https://admin.kod.ru/v-russiy-importozamestyat-chipi/
- Published: 2026-06-03T05:56:15.000Z
- Updated: 2026-06-03T07:01:31.000Z
- Description: Минпромторг запустил два проекта по импортозамещению оборудования для эпитаксии — ключевого этапа изготовления микросхем. Отечественные установки должны заменить системы из США, Франции и Нидерландов, поставки которых в Россию прекращены.
- Author: Игорь Савкин
- Tags: Новости

Минпромторг запустил два проекта по импортозамещению оборудования для эпитаксии — ключевого этапа изготовления микросхем. Отечественные установки должны заменить системы из США, Франции и Нидерландов, поставки которых в Россию прекращены.

Минпромторг профинансирует разработку российского оборудования для эпитаксии — технологии выращивания на полупроводниковой пластине тонких слоёв материалов, без которой невозможно изготовление современных микросхем. Как выяснил CNews, два запущенных проекта должны заменить установки американской Veeco, французской Riber и нидерландской ASM, поставки которых в Россию заблокированы из-за санкций. Суммарно на оба проекта выделено около 2 млрд рублей.

Первый проект — «Эпитаксия-SiGe» с бюджетом 463,7 млн рублей. В его рамках нужно создать установку для выращивания слоёв кремний-германия на кремниевых пластинах диаметром 200 мм методом газофазной эпитаксии — аналог нидерландской системы ASM Epsilon 2000\. По техническому заданию исполнитель должен разработать реактор, робот-загрузчик и модуль очистки поверхности пластин перед нанесением слоёв. Срок завершения — июнь 2029 года.

Второй проект, «Цитадель», получил 1,5 млрд рублей. Это установка молекулярно-лучевой эпитаксии для получения гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и арсенида — такие материалы используются в высокочастотной и оптоэлектронике. Российская система должна заменить оборудование Riber 49 из Франции и Veeco GEN200 из США. Работы планируется завершить к октябрю 2030 года.